V10FC中高压型采用全不锈钢传感器，适合于测量各种与316不锈钢兼容的气体。V10FC采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，可以同时显示和输出：瞬时流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时，还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。 显示器、键盘、通讯和多变量输出均是标准配置，具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作，可以完成以下内容：气体选择、单位选择、量程设定，报警点设定，阀门状态、自动校准等。 与热式流量计不同，当用气体转换系数时，V10FC没有附加的“比热容”误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。 产品应用 产品广泛用于真空,镀膜,太阳能,半导体,石油石化,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析仪器等。
V10FC-M/HM型MFC外观图
产品特点 ● 通用型，适合10Mpa以下各种气体测量 ● 无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%F.S/年 ● 准确度0.8%，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定 ● 瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出 ● 无需预热，测量时无响应滞后 ● 内置31种气体转换系数，无比热容附加误差，不影响精度 ● 自动累计，分段累计功能
技术指标
V10FC-M/HC质量流量控制器
V10FC-M/HC质量流量计
量程范围
小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
控制范围
控制器50：1
流量计100：1
准 确 度
流量：±0.8%读数±0.2%满量程
可选±0.4%读数±0.2%满量程
压力：0.5%F.S 温度：±1℃
线 性
±0.5%F.S
重复精度
±0.2%F.S
响应时间
100ms
10ms
数 字 量
RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量
0～5V、4～20mA、1～5V
供电
12V/24V/±15V可选
工作温度
0～50℃
工作压力
工作压差：0.03～0.5MPa
工作压降：<0.01Mpa
*大耐压
中压3MPa，高压10MPa
电气连接
DB15孔
漏 率
1×10-9SCCSHe
温度系数
±0.015%F.S/℃
底座材质
316L
密封材料
氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头
VCR1/4;swagelokφ6
京公网安备 11011502003169号
